白光干涉仪普遍应用在众多行业检测中,对于现代越来越复杂的工艺检测,也是心有余而力不足,德国NanoFocus AG研发的3D共聚焦显微镜的诞生,二者之间的区别优劣势有哪些呢？

白光干涉仪优点：

1.大范围测量（数平方毫米）

2.Z轴分辨率能达到0.1nm，水平分辨率0.3μm

3.快速测量，10s以内，但测量前需校正倾斜度

NanoFocus 3D共聚焦显微镜：

Z轴分辨率为1nm，没有白光干涉仪高，但是测量到亚微米及以上尺寸时精度和白光干涉基本相同。

白光干涉仪的问题点:

a)无法检测到陡峭角度——当使用干涉仪测量陡峭角度的对象时，由于干涉图案集中在这些区域，无法准确的收集信息。（通常倾角35°）

使用白光干涉仪进行观察电磁波干扰导致无法测量曲面

NanoFocus 3D共聚焦显微镜优势

检测到陡峭角度*大83°——共焦测距系统，它利用白光反射强度可以测量有大角度特性的形状，并且不会有噪点形状。

使用共聚焦显微镜进行观察光会穿过凹槽检测曲面

白光干涉仪的问题点:

a)受表面反射率限制——如果表面反射度不好，测量是难以执行，因此，很多样品并不能测量。如果反射光在参考面和测量面有巨大差异，那么样品也是不能测量的。（反射率必须大于4%的样品才能测量）

NanoFocus 3D共聚焦显微镜优势:

a)全反射率测量——可吸收反射光范围广，几乎对样品没有特殊要求，一般显微镜可以看的，就可以看。（反射率0%-100%都能测量）

如果参考面的反射率为 100%，同时测量面的反射率也约等于 100%，则会显示清晰的干涉条纹。