LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共焦光学系统）让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。
LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜有4大关键价值：
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捕捉任意表面形状。
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快速获得可靠数据。
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使用简单 - 只需放置样品并按一下按钮即可。
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测量具有挑战性的样品。
价值1：捕捉任意表面形状。
OLS5000显微镜的先进技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量。
价值2、快速获得可靠数据
该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度，从而缩短您的扫描时间，简化您的工作流程，*终实现生产力的提升。
价值3、使用简单，只需放置样品并按一下按钮即可
LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能，因而无需进行复杂的设置调整。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。
价值4、可测量具有挑战性的样品
低输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品，而超长工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑。在测量这两类样品时，您只需将样品放在载物台上即可。
[获取彩色信息]
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
[获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。
[405纳米激光光源]
光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光（峰值550纳米）的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得**的横向分辨率。
[激光共焦光学系统]
激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线，并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊，让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像
[X-Y扫描仪]
OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合，能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置，因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的**X-Y扫描。
[高度测量原理]
在测量高度时，显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置（Z）和检测光强度（I）可以估算每个像素的光强变化曲线（I-Z曲线），并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应，因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似，通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像（扩展图像）。
主机规格：
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型号
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OLS5000-SAF
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OLS5000-SMF
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OLS5000-LAF
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OLS5000-EAF
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OLS5000-EMF
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总倍率
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54x - 17,280x
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视场直径
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16 μm - 5,120 μm
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测量原理
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光学系统
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反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC 显微镜
彩色
彩色DIC
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光接收元件
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激光：光电倍增管（2ch）
色彩：CMOS 彩色相机
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高度测量
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显示分辨率
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0.5 纳米
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动态范围
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16 位
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可重复性 n-1 *1 *2 *6
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20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
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精度 *1 *3 *6
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测量值 +/- 1.5%
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拼接图像精度 *1 *4 *6
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20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])
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测量噪声（SQ 噪声）*1 *5 *6
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1 纳米
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宽度测量
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显示分辨率
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1 纳米
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可重复性 3 n-1 *1 *6
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20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
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精度 *1 *3 *6
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测量值 +/- 1.5%
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拼接图像精度 *1 *3 *6
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20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])
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单次测量时测量点的*大数量
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4096 x 4096 像素
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测量点的*大数量
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3600 万像素
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XY 载物台配置
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长度测量模块
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?
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无
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无
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?
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无
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工作范围
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100 x 100 mm 电动
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100 x 100 mm 手动
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300 x 300 mm 电动
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100 x 100 mm 电动
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100 x 100 mm 手动
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*大样品高度
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100 mm
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30 mm
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30 mm
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210 mm
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140 mm
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激光光源
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波长
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405 nm
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*大输出
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0.95 mW
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激光分类
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2 类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
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彩色光源
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白光 LED
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电气功率
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240 W
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240 W
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278 W
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240 W
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240 W
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质量
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显微镜主体
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约 31 公斤
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约 30 公斤
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约 50 公斤
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约 43 公斤
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约 39 公斤
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控制器
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约 12 公斤
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